確定探針卡異常的方法、裝置、終端設備及存儲介質

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110526012.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113393422B 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN113393422B 申請公布日 2022-03-22
分類號 G06T7/00（2017.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 張露露;歐綱;付友良;李旺軍;鄧海軍;王健;孔曉琳;李安平 申請（專利權）人 深圳米飛泰克科技股份有限公司
代理機構 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 龍歡
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道清風大道28號安博科技廠區(qū)1號廠房1、5、6層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例適用于晶圓測試技術領域，提供一種確定探針卡異常的方法、裝置、終端設備及計算機可讀存儲介質。該方法包括：獲取單片晶圓的晶圓圖；將至少兩片晶圓的所述晶圓圖進行疊加，生成疊加晶圓圖，所述至少兩片晶圓屬于同一批次；若所述疊加晶圓圖具備預設圖像特征，則確定所述探針卡存在異常。本申請實施例通過將探針卡測試多個晶圓產(chǎn)生的多張晶圓圖疊加，生成疊加晶圓圖；疊加晶圓圖可以體現(xiàn)這些晶圓在測試中出現(xiàn)的相同問題，因此可以根據(jù)疊加晶圓圖的圖像特征確定屬于探針卡的異常，這樣不需要對探針卡重做差異評估也能及時發(fā)現(xiàn)探針卡的異常，也避免了因晶圓測試良率正常導致探針卡存在的問題被忽略。