確定探針卡異常的方法、裝置、終端設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110526012.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113393422B | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113393422B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | G06T7/00（2017.01）I | 分類(lèi) | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 張露露;歐綱;付友良;李旺軍;鄧海軍;王健;孔曉琳;李安平 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳米飛泰克科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 龍歡 |
| 地址 | 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)寶龍街道清風(fēng)大道28號(hào)安博科技廠區(qū)1號(hào)廠房1、5、6層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)實(shí)施例適用于晶圓測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，提供一種確定探針卡異常的方法、裝置、終端設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。該方法包括：獲取單片晶圓的晶圓圖；將至少兩片晶圓的所述晶圓圖進(jìn)行疊加，生成疊加晶圓圖，所述至少兩片晶圓屬于同一批次；若所述疊加晶圓圖具備預(yù)設(shè)圖像特征，則確定所述探針卡存在異常。本申請(qǐng)實(shí)施例通過(guò)將探針卡測(cè)試多個(gè)晶圓產(chǎn)生的多張晶圓圖疊加，生成疊加晶圓圖；疊加晶圓圖可以體現(xiàn)這些晶圓在測(cè)試中出現(xiàn)的相同問(wèn)題，因此可以根據(jù)疊加晶圓圖的圖像特征確定屬于探針卡的異常，這樣不需要對(duì)探針卡重做差異評(píng)估也能及時(shí)發(fā)現(xiàn)探針卡的異常，也避免了因晶圓測(cè)試良率正常導(dǎo)致探針卡存在的問(wèn)題被忽略。 |
