三氟化硼液化裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022751127.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213811331U 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN213811331U 申請公布日 2021-07-27
分類號 F25J1/02（2006.01）;F25J5/00（2006.01）;C01B35/06（2006.01） 分類 制冷或冷卻；加熱和制冷的聯(lián)合系統(tǒng)；熱泵系統(tǒng)；冰的制造或儲存；氣體的液化或固化;
發(fā)明人 趙趫;王天源;李慶東 申請（專利權(quán)）人 大連科利德半導(dǎo)體材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連優(yōu)路智權(quán)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 姚萍
地址 116000 遼寧省大連市保稅區(qū)倉儲加工區(qū)IE-33
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了三氟化硼液化裝置，包括基座，所述基座的頂部從左到右依次安裝有過濾室、冷卻室、儲存罐和控制箱，所述過濾室的內(nèi)壁下方均勻安裝有濾網(wǎng)，所述過濾室的一側(cè)內(nèi)壁上方安裝有壓力傳感器，所述過濾室的頂部安裝有第一進(jìn)氣管，所述過濾室的一側(cè)外壁下方安裝有第三排氣管，所述第三排氣管的另一端通過管類三通接頭分別連接有取樣管和第二連接管，所述第二連接管的另一端安裝在冷卻室的一側(cè)外壁上方，所述冷卻室的一側(cè)外壁下方安裝有第三進(jìn)氣管。本實(shí)用新型能夠有效的過濾掉三氟化硼氣體中含有的雜質(zhì)，并能實(shí)時(shí)檢測設(shè)備內(nèi)的壓強(qiáng)，防止氣體泄漏，并能排出設(shè)備內(nèi)本身含有的氣體，加強(qiáng)了安全性。