一種三氯化硼制備用純度檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022757898.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213813521U 公開（公告）日 2021-07-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN213813521U 申請(qǐng)公布日 2021-07-27
分類號(hào) G01N33/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 趙毅;劉穎;趙銀鳳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連科利德半導(dǎo)體材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連優(yōu)路智權(quán)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 姚萍
地址 116000遼寧省大連市保稅區(qū)倉(cāng)儲(chǔ)加工區(qū)IE-33
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種三氯化硼制備用純度檢測(cè)裝置，包括工作臺(tái)，工作臺(tái)頂部的中心固定安裝有放置板，工作臺(tái)一側(cè)的頂部通過(guò)合頁(yè)鉸接有第一擋板，工作臺(tái)的一側(cè)通過(guò)螺紋柱與雜質(zhì)檢測(cè)盒的一側(cè)固定連接，雜質(zhì)檢測(cè)盒的另一側(cè)固定安裝有水分檢測(cè)盒，水分檢測(cè)盒的一側(cè)與處理盒的一側(cè)固定連接，處理盒的內(nèi)部從上到下依次固定安裝有處理器和純度計(jì)算器，處理盒的中部套設(shè)有耐磨套，本實(shí)用新型一種三氯化硼制備用純度檢測(cè)裝置，雜質(zhì)檢測(cè)盒和水分檢測(cè)盒不僅對(duì)雜質(zhì)和水分進(jìn)行檢測(cè)還進(jìn)一步除雜提純，放置板具有較高的耐腐支撐性，第一擋板的安裝便于三氯化硼進(jìn)行檢測(cè)，耐磨套和固定柱的設(shè)置，便于純度檢測(cè)裝置進(jìn)行拿取和安裝。