一種三氯化硼制備用純度檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022757898.0 申請日 -
公開（公告）號 CN213813521U 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN213813521U 申請公布日 2021-07-27
分類號 G01N33/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙毅;劉穎;趙銀鳳 申請（專利權）人 大連科利德半導體材料股份有限公司
代理機構 大連優(yōu)路智權專利代理事務所（普通合伙） 代理人 姚萍
地址 116000遼寧省大連市保稅區(qū)倉儲加工區(qū)IE-33
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種三氯化硼制備用純度檢測裝置，包括工作臺，工作臺頂部的中心固定安裝有放置板，工作臺一側的頂部通過合頁鉸接有第一擋板，工作臺的一側通過螺紋柱與雜質檢測盒的一側固定連接，雜質檢測盒的另一側固定安裝有水分檢測盒，水分檢測盒的一側與處理盒的一側固定連接，處理盒的內部從上到下依次固定安裝有處理器和純度計算器，處理盒的中部套設有耐磨套，本實用新型一種三氯化硼制備用純度檢測裝置，雜質檢測盒和水分檢測盒不僅對雜質和水分進行檢測還進一步除雜提純，放置板具有較高的耐腐支撐性，第一擋板的安裝便于三氯化硼進行檢測，耐磨套和固定柱的設置，便于純度檢測裝置進行拿取和安裝。