一種三氟化氮?dú)怏w分離裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022597071.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213912730U 公開（公告）日 2021-08-10
申請公布號 CN213912730U 申請公布日 2021-08-10
分類號 B01D45/16（2006.01）I;B01D45/18（2006.01）I;C01B21/083（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 趙毅;石琳;李文博 申請（專利權(quán)）人 大連科利德半導(dǎo)體材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連優(yōu)路智權(quán)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 姚萍
地址 116000遼寧省大連市保稅區(qū)倉儲加工區(qū)IE-33
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種三氟化氮?dú)怏w分離裝置，包括支撐架、分離箱、驅(qū)動電機(jī)和分離筒，所述分離箱的外表面安裝有消音結(jié)構(gòu)，所述消音結(jié)構(gòu)外表面的底端安裝有支撐架，所述分離箱內(nèi)部的中間位置處安裝有分離筒，所述分離箱的另一側(cè)安裝有第一收集箱，所述第一收集箱的頂端安裝有第二導(dǎo)氣管，所述第一收集箱的一側(cè)安裝有第二收集箱，所述第二收集箱的頂端安裝有第一導(dǎo)氣管。本實(shí)用新型通過設(shè)置有拆卸結(jié)構(gòu)，當(dāng)該裝置不使用時，為了方便存放和管理，可以直接拔下第二導(dǎo)氣管，根據(jù)彈簧彈力的作用，使得卡塊脫離第二導(dǎo)氣管上的卡槽，從而實(shí)現(xiàn)了第一收集箱與分離箱進(jìn)行分離，從而使其方便存放和方便管理。