一種晶體生長過程的加熱電源控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510392351.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104965538B 公開（公告）日 2018-04-13
申請公布號 CN104965538B 申請公布日 2018-04-13
分類號 G05D23/19 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 王軍;卜俊鵬 申請（專利權）人 中科晶電信息材料（北京）股份有限公司
代理機構 四川力久律師事務所 代理人 四川英杰電氣股份有限公司;卜俊鵬;中科晶電信息材料（北京）股份有限公司
地址 618000 四川省德陽市金沙江西路686號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶體生長過程的加熱電源控制方法。在所述晶體的熔料階段和/或退火階段，加熱電源采用周期脈沖控制；所述周期脈沖控制是指，將所述加熱電源的輸出功率幅值及脈沖周期固定，通過調(diào)節(jié)每個脈沖周期內(nèi)的脈沖占空比控制所述加熱電源的每個脈沖周期內(nèi)的輸出功率。本發(fā)明通過控制加熱電源在退火階段采用周期脈沖控制方式降低能耗，達到能效果。本發(fā)明適用于晶體生長領域電源，特別適用于藍寶石晶體生長加熱電源的控制。