一種晶體爐隨爐退火裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520258941.5 申請日 -
公開（公告）號 CN204727985U 公開（公告）日 2015-10-28
申請公布號 CN204727985U 申請公布日 2015-10-28
分類號 C30B15/14(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 巨二方 申請（專利權(quán)）人 上海贏奔光電科技有限公司
代理機構(gòu) 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 馮子玲
地址 201505 上海市松江區(qū)葉榭鎮(zhèn)車亭公路1600號3幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶體爐隨爐退火裝置，包括溫度顯示器、外保溫筒、內(nèi)保溫筒和晶體生長爐，所述晶體生長爐的上方設(shè)有內(nèi)保溫筒，所述內(nèi)保溫筒的外側(cè)嵌套密封設(shè)有外保溫筒，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部設(shè)有導熱油，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部交錯均勻設(shè)置若干隔流板，所述隔流板的下側(cè)于外保溫筒的內(nèi)壁上設(shè)有環(huán)狀加熱絲，所述加熱絲的下方于外保溫筒與內(nèi)保溫筒的底部中間位置左右兩側(cè)均設(shè)有攪拌電機，所述內(nèi)保溫筒的上側(cè)壁上設(shè)有二號熱電偶，所述外保溫筒與內(nèi)保溫筒的內(nèi)部設(shè)有一號熱電偶，所述一號熱電偶和二號熱電偶均與溫度顯示器電連接。本實用新型晶體提拉時處于同一個溫度場中，且無需升降溫操作，作業(yè)效率大幅度提高。