一種晶體爐隨爐退火裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210010318.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102758257A 公開(kāi)（公告）日 2012-10-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN102758257A 申請(qǐng)公布日 2012-10-31
分類號(hào) C30B33/02(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 高超;華偉;陳偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海贏奔光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200127 上海市浦東新區(qū)東方路899號(hào)1009室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶體生長(zhǎng)爐，具體說(shuō)就是一種晶體爐隨爐退火裝置，包括晶體生長(zhǎng)爐，其特征在于：還包括一個(gè)位于晶體生長(zhǎng)爐頂部的隨爐退火裝置，所述的隨爐退火裝置包括一個(gè)感應(yīng)線圈，以及置于感應(yīng)線圈內(nèi)的圓柱形后感應(yīng)保溫筒，還包括一個(gè)位于圓柱形后感應(yīng)保溫筒上的梯形后感應(yīng)保溫筒，以及一個(gè)測(cè)溫?zé)犭娕迹瑴y(cè)溫?zé)犭娕嫉亩瞬坎迦雸A柱形后感應(yīng)保溫筒內(nèi)。本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，晶體生長(zhǎng)完后、從晶體爐中提拉出來(lái)后處于一個(gè)和晶體本身溫度基本相同的溫度場(chǎng)中，保證了晶體的完整性，提高了晶體的成品率，減少了后期專門(mén)的退火設(shè)備和退火時(shí)間，提高了效率。