漿臂以及拋光機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621106610.0 申請日 -
公開（公告）號 CN206383017U 公開（公告）日 2017-08-08
申請公布號 CN206383017U 申請公布日 2017-08-08
分類號 B24B37/34(2012.01)I;B24B37/00(2012.01)I;B24B57/02(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 王浩;王同慶;李昆;路新春 申請（專利權(quán)）人 天府清源控股有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津華海清科機(jī)電科技有限公司;清華大學(xué)
地址 300350 天津市津南區(qū)海河科技園區(qū)聚興道9號，8號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種漿臂以及拋光機(jī)，拋光機(jī)的漿臂包括：漿臂本體；第一管路，所述第一管路設(shè)置在所述漿臂本體上且設(shè)置有第一出漿口，所述第一出漿口在所述漿臂本體上可軸向移動；第二管路，所述第二管路設(shè)置在所述漿臂本體上且設(shè)置有第二出漿口，所述第二出漿口鄰近所述漿臂本體的自由端設(shè)置。通過設(shè)置第一管路和第一出漿口，可以分散漿液落點，可以對晶圓任意圓環(huán)區(qū)域微調(diào)去除速率，從而可以提高晶圓的膜厚均勻性，而且可以調(diào)節(jié)晶圓的拋光形貌。