一種基于雙閉環(huán)的掃描光柵微鏡機械擺角的控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111434331.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114184547A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114184547A 申請公布日 2022-03-15
分類號 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/31（2006.01）I;G02B26/08（2006.01）I;G02B26/10（2006.01）I;G05D3/12（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 郝文元;吳珂;黃明洋;周穎;溫曉康 申請（專利權(quán)）人 重慶川儀自動化股份有限公司
代理機構(gòu) 重慶志合專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 徐傳智
地址 400700重慶市北碚區(qū)人民村1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于雙閉環(huán)的掃描光柵微鏡機械擺角的控制方法，包括以下步驟：S1，在掃描光柵微鏡控制系統(tǒng)中設(shè)定掃描光柵微鏡的目標(biāo)機械擺角值θset；S2，通過掃描光柵微鏡控制系統(tǒng)采集掃描光柵微鏡的電壓驅(qū)動信號VO和機械擺角的電壓反饋信號Vθ；S3，計算相關(guān)系數(shù)，計算S2采集的電壓驅(qū)動信號VO與電壓反饋信號Vθ的相關(guān)系數(shù)；S4，根據(jù)S3計算的相關(guān)系數(shù)，將電壓驅(qū)動信號的頻率調(diào)整至掃描光柵微鏡諧振頻率的誤差范圍內(nèi)；S5，根據(jù)機械擺角的電壓反饋信號Vθ計算掃描光柵微鏡的實際機械擺角值θ；S6，根據(jù)掃描光柵微鏡的實際機械擺角值θ與目標(biāo)機械擺角值θset之間的偏差及偏差變化率，通過模糊PID控制器調(diào)整電壓驅(qū)動信號的幅值。