一種基于納米二氧化硅的電路板用蝕刻液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510952041.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN105369250B 公開(kāi)(公告)日 2017-12-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN105369250B 申請(qǐng)公布日 2017-12-08
分類(lèi)號(hào) C23F1/26(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉進(jìn)軍 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 無(wú)錫吉進(jìn)環(huán)保科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州天河萬(wàn)研知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 重慶碩奧科技有限公司;深圳市新日東升電子材料有限公司
地址 400056 重慶市巴南區(qū)南泉街道紅星村12社
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公布了一種基于納米二氧化硅的電路板用蝕刻液,包括以下重量百分比的組合物:納米二氧化硅1.5%~2.5%;磷酸銨1.2%~1.6%;草酸0.5%~1.6%;有機(jī)鹽酸0.5%~1.2%;非離子表面活性劑0.3%~1.5%;穩(wěn)定劑0.5%~1.2%;消泡劑0.5%~1.6%;其余為蒸餾水。本發(fā)明通過(guò)在原有工藝的基礎(chǔ)上新加入了納米二氧化硅,不僅能夠在不發(fā)生抗蝕涂層滲透的情況下進(jìn)行蝕刻,顯著提高鉻金屬膜的蝕刻速度,具有蝕刻速度可控性,有效抑制抗蝕保護(hù)層的劣化,得到表面平坦光滑的鉻金屬膜配線,具有重要的應(yīng)用價(jià)值。