一種方便安裝的磁控濺射靶材

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120325101.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214300330U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214300330U 申請公布日 2021-09-28
分類號 C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 侯玉萍;王洪權(quán) 申請（專利權(quán)）人 大連威鈦克納米科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 116113遼寧省大連市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)東北七街13號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種方便安裝的磁控濺射靶材，包括裝置本體，所述裝置本體底端安裝有固定底座，所述固定底座內(nèi)壁設(shè)有限定孔，所述限定孔內(nèi)部設(shè)有限定螺栓，所述固定底座內(nèi)壁兩側(cè)均設(shè)有活動槽，所述活動槽內(nèi)部設(shè)有活動夾板，所述活動夾板一側(cè)設(shè)有緩沖桿，所述緩沖桿一側(cè)設(shè)有活動座，所述活動座與活動槽內(nèi)壁之間設(shè)有限定彈簧。本實用新型通過活動夾板和限定螺栓的設(shè)置，活動夾板在緩沖桿和限定彈簧的彈力作用下可以對安裝部位進行夾持和固定，使得靶材可以適應(yīng)不同尺寸的安裝部位的安裝工作，通過限定螺栓可以將靶材與安裝部位進一步連接，可以避免靶材在工作過程中出現(xiàn)松動的情況，進而使得靶材的安裝和拆卸更加的便捷。