一種藍(lán)寶石襯底制備工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710418780.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107268081A 公開（公告）日 2017-10-20
申請公布號 CN107268081A 申請公布日 2017-10-20
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李順利 申請（專利權(quán)）人 界首市七曜新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽信拓律師事務(wù)所 代理人 張加寬
地址 236500 安徽省阜陽市界首市工業(yè)園人民路北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種藍(lán)寶石襯底制備工藝，包括加料，熔化，縮頸生長，放肩生長，等徑生長，尾部生長步驟。本發(fā)明熔化時通過兩次升溫、降溫最后再升至熔化溫度以上，減少藍(lán)寶石襯底受熱時內(nèi)部熱應(yīng)變，進(jìn)而避免裂片，同時提高高溫條件下的熱導(dǎo)率(外延爐中生長外延層時，最高溫度可達(dá)到1300℃)，使藍(lán)寶石襯底自身受熱更為均勻；本發(fā)明制得的藍(lán)寶石襯底內(nèi)部缺陷少，結(jié)晶質(zhì)量高，適合制作大尺寸外延片，能夠有效的避免裂片的發(fā)生。