一種改善直拉法生長單晶硅品質(zhì)的加熱器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520267486.5 申請日 -
公開（公告）號 CN204608210U 公開（公告）日 2015-09-02
申請公布號 CN204608210U 申請公布日 2015-09-02
分類號 C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 湯灝 申請（專利權(quán)）人 西安隆基新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 湯灝;樂葉光伏能源有限公司
地址 310013 浙江省杭州市西湖區(qū)求是村72幢402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種改善直拉法生長單晶硅質(zhì)量的加熱器，包括筒狀的發(fā)熱本體和固定在發(fā)熱本體上的電極腳，所述發(fā)熱本體上開設(shè)有沿周向交替布置的上開槽和下開槽，所述上開槽和下開槽將發(fā)熱本體分成多根依次串聯(lián)的加熱條，其特征在于，所述加熱條位于所述發(fā)熱本體上部產(chǎn)生的熱量大于位于下部產(chǎn)生的熱量，本實(shí)用新型通過使加熱器的上部發(fā)熱量大于下部的發(fā)熱量，從而有效減小熔體沿深度方向上的溫度梯度，減小熱對流，降低單晶硅中的微缺陷和有害雜質(zhì)，制備得到低缺陷、超低氧、高少子壽命的單晶硅，成本較低且易于實(shí)現(xiàn)。