一種直拉單晶隔熱裝料方法及其裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010301244.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101760773B 公開(kāi)（公告）日 2011-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN101760773B 申請(qǐng)公布日 2011-11-09
分類號(hào) C30B15/00(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 周銳 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安隆基新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 西安隆基硅材料股份有限公司;西安隆基硅技術(shù)有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;西安矽美單晶硅有限公司;中國(guó)三峽新能源有限公司
地址 710100 陜西省西安市長(zhǎng)安區(qū)航天中路388號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種直拉單晶隔熱裝料方法，該方法按照以下步驟具體實(shí)施：1)單晶爐拆爐后，將主室爐筒、主保溫筒和石墨加熱器等爐體及熱場(chǎng)石墨器件上的揮發(fā)物打掃干凈；2)在主保溫筒上端面安放隔熱大蓋；3)將石墨坩堝及石英坩堝依次放置于石墨托桿上，開(kāi)始裝入單晶原料；4)裝料完畢后，在石英坩堝上蓋上護(hù)料蓋；5)再將隔熱大蓋取出，去掉護(hù)料蓋，即可合爐抽空加熱，開(kāi)始下一爐次的單晶拉制。本發(fā)明還公開(kāi)了一種隔熱裝料裝置，其中的隔熱大蓋選用固態(tài)石墨氈、硅酸鋁陶瓷纖維制品、硅酸鈣制品或石墨制品。本發(fā)明的方法及其裝置，通過(guò)增加隔熱大蓋的設(shè)置，阻隔熱場(chǎng)揮發(fā)氣流，在不冷卻熱場(chǎng)情況下實(shí)現(xiàn)裝料過(guò)程；有效防止掉料事故發(fā)生。