一種采用統(tǒng)計過程控制晶圓加工的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210357701.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114781835A 公開（公告）日 2022-07-22
申請公布號 CN114781835A 申請公布日 2022-07-22
分類號 G06Q10/06（2012.01）I;G06Q10/00（2012.01）I;G06Q50/04（2012.01）I;G07C3/14（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 計算；推算；計數;
發(fā)明人 孫俊杰;付斌 申請（專利權）人 江蘇道達智能科技有限公司
代理機構 蘇州德坤知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 211100江蘇省南京市江寧開發(fā)區(qū)南佑路7號翠屏科創(chuàng)大廈五層樓5028-1房間（江寧開發(fā)區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種采用統(tǒng)計過程控制晶圓加工的方法，包括統(tǒng)計過程控制單元、數據庫和反饋單元，統(tǒng)計過程控制單元具有數據處理模塊和判斷模塊，統(tǒng)計過程控制單元讀取數據庫內的數據，先將加工工藝數據以及標準的晶圓設計參數；然后進行劃分匹配同時制定調整規(guī)則；接著通過判斷模塊將檢測數據與晶圓設計參數進行判斷比較，比較結果按照符合程度分為接近標準、符合標準和不良，根據接近標準、符合標準和不良的比較結果進行反饋，需要調整則將晶圓設計參數對應加工工藝數據根據調整規(guī)則進行調整，形成新的加工工藝數據；新的加工工藝數據通過反饋單元反饋至加工單元并執(zhí)行。本發(fā)明通過統(tǒng)計過程控制保證晶圓加工品質。