一種多維度監(jiān)控的物料傳輸控制方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210359025.5 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN114783912A | 公開(kāi)(公告)日 | 2022-07-22 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN114783912A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-22 |
分類(lèi)號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H04N5/76(2006.01)I;G06K17/00(2006.01)I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 孫俊杰;付斌 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 江蘇道達(dá)智能科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 蘇州德坤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 211100江蘇省南京市江寧開(kāi)發(fā)區(qū)南佑路7號(hào)翠屏科創(chuàng)大廈五層樓5028-1房間(江寧開(kāi)發(fā)區(qū)) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種多維度監(jiān)控的物料傳輸控制方法,包括中央處理器、主控單元、稱(chēng)重單元、圖像捕獲單元、閱讀器和電子標(biāo)簽;所述主控單元、稱(chēng)重單元和閱讀器設(shè)置在集成底座上;電子標(biāo)簽固定在運(yùn)送晶圓的載具上,用于記錄物料傳輸數(shù)據(jù);載具與集成底座可拆卸連接,且載具與集成底座同步運(yùn)輸;稱(chēng)重單元用于測(cè)量載具內(nèi)物料的重量并得到重量數(shù)據(jù);圖像捕獲單元固定在運(yùn)送晶圓的載具上,用于拍攝載具內(nèi)部及周邊的影像,得到影像數(shù)據(jù);主控單元通過(guò)閱讀器對(duì)電子標(biāo)簽進(jìn)行讀寫(xiě),主控單元還對(duì)重量數(shù)據(jù)及影像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并與中央處理器信息交互并上傳。本發(fā)明能夠?qū)ξ锪系恼麄€(gè)傳輸過(guò)程進(jìn)行監(jiān)控和警示,便于快速處理。 |
