一種晶圓制備用EAP設(shè)備自動化系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210357694.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114724986A 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN114724986A 申請公布日 2022-07-08
分類號 H01L21/67（2006.01）I;G06K7/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 付斌;孫俊杰 申請（專利權(quán)）人 江蘇道達(dá)智能科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州德坤知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 211100江蘇省南京市江寧開發(fā)區(qū)南佑路7號翠屏科創(chuàng)大廈五層樓5028-1房間（江寧開發(fā)區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓制備用EAP設(shè)備自動化系統(tǒng)，包括設(shè)備自動化管理模塊、自動化加工設(shè)備、閱讀器和射頻卡，射頻卡與批量晶圓綁定且一并周轉(zhuǎn)，射頻卡內(nèi)記錄有當(dāng)前批次晶圓的加工信息，自動化加工設(shè)備與閱讀器連接，自動化加工設(shè)備通過閱讀器讀取射頻卡內(nèi)的加工信息并上傳至設(shè)備自動化管理模塊，設(shè)備自動化管理模塊通過加工信息生成加工程序并由自動化加工設(shè)備執(zhí)行加工，還包括判斷單元，判斷單元用于對射頻卡內(nèi)的加工信息進(jìn)行分析判斷是否有缺失，當(dāng)沒有缺失，則生成加工程序，當(dāng)存在缺失，設(shè)備自動化管理模塊與MES制造執(zhí)行系統(tǒng)進(jìn)行信息交互，并對閱讀器對射頻卡內(nèi)的加工信息進(jìn)行修改。本發(fā)明能夠快速的讀取加工信息，降低網(wǎng)絡(luò)壓力。