一種晶圓檢測打標(biāo)的自動化設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111613234.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114496842A 公開（公告）日 2022-05-13
申請公布號 CN114496842A 申請公布日 2022-05-13
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡發(fā)云;孫俊杰;付斌 申請（專利權(quán)）人 江蘇道達智能科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 210000 江蘇省南京市江寧開發(fā)區(qū)南佑路7號翠屏科創(chuàng)大廈五層樓5028-1房間（江寧開發(fā)區(qū)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種晶圓檢測打標(biāo)的自動化設(shè)備，包括中央處理器模塊、DB機模塊、拍照模塊、定位模塊、打標(biāo)模塊、運輸模塊、存放模塊和供電模塊；所述中央處理器模塊和DB機模塊之間通過信號連接；所述中央處理器模塊和拍照模塊之間通過信號連接；所述中央處理器模塊和定位模塊之間通過信號連接；所述中央處理器模塊和打標(biāo)模塊之間通過信號連接；所述中央處理器模塊和運輸模塊之間通過信號連接；所述中央處理器模塊和存放模塊之間通過信號連接；通過拍照模塊和中央處理器的配合可對目標(biāo)晶圓進行分析，配合后續(xù)定位模塊和打標(biāo)模塊對目標(biāo)晶圓進行處理，避免人工找點定位難度較大，會存在誤識別情況。