一種含Si

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110522516.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113200765A 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN113200765A 申請公布日 2021-08-03
分類號 C04B41/89（2006.01）I;C04B35/573（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 陳振宇;朱蘇華;周娩紅 申請（專利權(quán)）人 湖南世鑫新材料有限公司
代理機構(gòu) 長沙市融智專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙進
地址 412007湖南省株洲市天元區(qū)仙月環(huán)路899號新馬動力創(chuàng)新園2-1期D棟研發(fā)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種含Si3N4和BN復(fù)合涂層的碳陶復(fù)合材料坩堝及其制備方法，由碳陶坩堝基體依次沉積Si3N4涂層、BN涂層制得。本發(fā)明以碳陶坩堝為基體，先在其孔隙和表面（內(nèi)表面和外表面）沉積Si3N4涂層，然后再沉積BN涂層制得，本發(fā)明僅需采用單一坩堝生產(chǎn)單晶硅，通過碳陶坩堝基體、Si3N4涂層和BN涂層三者的協(xié)同作用，極大的提升了坩堝的高溫穩(wěn)定性能和抗硅蝕能力，同時坩堝表面對硅的潤濕性差，避免了生產(chǎn)單晶硅后的硅晶粘鍋難以清理，既延長了坩堝的使用壽命，又減少了坩堝更換頻次和提升了單晶硅生產(chǎn)效率。