一種具有碳化硅/硅復(fù)合陶瓷層的坩堝
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202110322512.X | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN113073381A | 公開(公告)日 | 2021-07-06 |
申請公布號 | CN113073381A | 申請公布日 | 2021-07-06 |
分類號 | C30B15/10(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 鮑思權(quán);陳振宇;周娩紅;朱蘇華 | 申請(專利權(quán))人 | 湖南世鑫新材料有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 長沙市融智專利事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 蔣太煒 |
地址 | 412007湖南省株洲市天元區(qū)仙月環(huán)路899號新馬動力創(chuàng)新園2-1期D棟研發(fā)廠房 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明屬于單晶硅拉制爐用熱場部件技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種具有碳化硅/硅復(fù)合陶瓷層的坩堝。所述坩堝包括炭/炭復(fù)合材料構(gòu)成的坩堝以及附著于炭/炭復(fù)合材料坩堝內(nèi)外表面的碳化硅/硅復(fù)合陶瓷層,或所述坩堝包括炭/炭復(fù)合材料構(gòu)成的坩堝以及附著于炭/炭復(fù)合材料坩堝內(nèi)表面的碳化硅/硅復(fù)合陶瓷層,所述碳化硅/硅復(fù)合陶瓷層是由碳化硅和硅彼此鑲嵌混合而組成。本發(fā)明通過制備工藝與坩堝結(jié)構(gòu)的優(yōu)化匹配;得到了性能優(yōu)良、使用壽命長久的產(chǎn)品。本發(fā)明制備工藝可控,便于大規(guī)模工業(yè)化應(yīng)用。 |
