一種微型定向超聲換能器及其加工工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710322352.2 申請日 -
公開（公告）號 CN106960903A 公開（公告）日 2017-07-18
申請公布號 CN106960903A 申請公布日 2017-07-18
分類號 H01L41/04;H01L41/18;H01L41/22 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐利梅;李學生;秦開宇;謝曉梅;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權(quán)）人 成都泰聲科技有限公司
代理機構(gòu) 成都高遠知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 成都泰聲科技有限公司
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)（西區(qū)）天目路77號12棟2單元4層425號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種微型定向超聲換能器，包括壓電材料層，壓電材料層頂面設置上電極，壓電材料層底面設置下電極，上電極頂面覆蓋絕緣層，下電極底面覆蓋二氧化硅層，下電極底面通過硅襯底支撐；本發(fā)明還公開了該種微型定向超聲換能器的加工工藝。本發(fā)明具有體積小，易集成，高效能的優(yōu)點，適于在微型設備上使用；還可采用MEMS技術加工。