一種微型定向超聲換能器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720510931.5 申請日 -
公開（公告）號 CN206893630U 公開（公告）日 2018-01-16
申請公布號 CN206893630U 申請公布日 2018-01-16
分類號 H01L41/04;H01L41/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐利梅;李學生;秦開宇;謝曉梅;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權）人 成都泰聲科技有限公司
代理機構 成都高遠知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 成都泰聲科技有限公司
地址 610000 四川省成都市高新區(qū)（西區(qū)）天目路77號12棟2單元4層425號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種微型定向超聲換能器，包括壓電材料層，壓電材料層頂面設置上電極，壓電材料層底面設置下電極，上電極頂面覆蓋絕緣層，下電極底面覆蓋二氧化硅層，下電極底面通過硅襯底支撐。本實用新型具有體積小，易集成，高效能的優(yōu)點，適于在微型設備上使用；還可采用MEMS技術加工。