一種靶材背板結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821044039.3 申請日 -
公開（公告）號 CN208733208U 公開（公告）日 2019-04-12
申請公布號 CN208733208U 申請公布日 2019-04-12
分類號 C23C14/32;C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 孫偉華 申請（專利權(quán)）人 江蘇迪丞光電材料有限公司
代理機構(gòu) 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 梁永昌
地址 221000 江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟開發(fā)區(qū)環(huán)城北路南側(cè)、沂蒙山路西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種靶材背板結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)包括背板結(jié)構(gòu)、承接板、散熱鋁材和冷媒組件，所述背板結(jié)構(gòu)上設(shè)有承接板，所述承接板的下方設(shè)有散熱鋁材，所述散熱鋁材的下方設(shè)有冷媒組件，所述承接板通過散熱鋁材與冷媒組件固定連接，所述冷媒組件包括冷媒板、冷媒管、冷媒入口、冷媒出口，該一種靶材背板結(jié)構(gòu)，可通過在承接板的下方設(shè)置一組散熱鋁材，再借由底板上的主側(cè)板、副側(cè)板支撐之后，內(nèi)部的鋁片組會與承接板進行接觸，對靶材表面產(chǎn)生的溫度進行傳遞，可通過在散熱鋁材的下方設(shè)置一個冷媒組件，冷媒組件在上方冷媒板的表面上設(shè)置蛇形彎曲的冷媒管，可對冷媒進行傳遞，便于對上方散熱鋁材吸收的熱量進行交換，結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)。