一種凝膠注模制備IGZO旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110787060.2 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113354393A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號(hào) CN113354393A 申請公布日 2021-09-07
分類號(hào) C04B35/01;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/624;C23C14/08;C23C14/35 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 孔偉華 申請（專利權(quán)）人 江蘇迪丞光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州博士科創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 宋佳
地址 221300 江蘇省徐州市邳州市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)沂蒙山路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種凝膠注模制備IGZO旋轉(zhuǎn)靶材的制備方法，包括以下步驟：1）、稱取In2O3、Ga2O3、ZnO粉末配備成混合粉體，將去離子水、官能團(tuán)單體、分散劑、引發(fā)劑以及催化劑，分別加入到混合裝置內(nèi)進(jìn)行濕法球磨混合攪拌均勻形成漿料；2）、將漿料通過注塑機(jī)注入模具固化干燥得到IGZO靶材毛坯；3）、將干燥的IGZO靶材毛坯放置于脫脂爐內(nèi)脫脂；4）、將脫脂后的IGZO靶材毛坯放置于高溫?zé)Y(jié)爐內(nèi)燒結(jié)；5）、將燒結(jié)后的IGZO靶材毛坯進(jìn)行機(jī)械加工；6）、將加工后的IGZO靶材毛坯通過邦定材料邦定在不銹鋼管上，得到IGZO旋轉(zhuǎn)靶材。本發(fā)明避免了現(xiàn)有技術(shù)中因粉漿澆注成型而導(dǎo)致IGZO靶材毛坯密度梯度不均勻易變形的缺陷，達(dá)到高效制備IGZO旋轉(zhuǎn)靶材的目的。