利用精密導(dǎo)軌刻劃中階梯光柵的直線度誤差補償方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610261026.0 申請日 -
公開（公告）號 CN105806263B 公開（公告）日 2018-05-22
申請公布號 CN105806263B 申請公布日 2018-05-22
分類號 G01B11/27 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃元申;董成成;盛斌;孫樂;倪爭技;周紅艷;張大偉 申請（專利權(quán)）人 昆山上理工光電信息應(yīng)用技術(shù)研究院有限公司
代理機構(gòu) 上海申匯專利代理有限公司 代理人 上海理工大學(xué);昆山上理工光電信息應(yīng)用技術(shù)研究院有限公司
地址 200093 上海市楊浦區(qū)軍工路516號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種利用精密導(dǎo)軌刻劃中階梯光柵的直線度誤差補償方法，涉及光學(xué)器件技術(shù)領(lǐng)域，所解決的是無法利用精密導(dǎo)軌刻劃中階梯光柵的技術(shù)問題。該方法先測量出精密導(dǎo)軌的直線度累積誤差數(shù)據(jù)，再根據(jù)測得的數(shù)據(jù)繪制出精密導(dǎo)軌直線度累積誤差曲線，再根據(jù)精密導(dǎo)軌直線度累積誤差曲線建立一個一次補償方程；然后再根據(jù)一次補償方程，測量以一次補償函數(shù)為步進值的精密導(dǎo)軌所刻劃出的中階梯光柵的衍射波前數(shù)據(jù)，并根據(jù)測得的數(shù)據(jù)繪制出該中階梯光柵的衍射波前曲線；然后再根據(jù)中階梯光柵的衍射波前曲線，建立一個二次補償方程；然后采用以二次補償函數(shù)為步進值的精密導(dǎo)軌刻劃中階梯光柵成品。本發(fā)明提供的方法，刻劃出的中階梯光柵具有較好的衍射波面。