一種酸性蝕刻液再生循環(huán)方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710258832.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107012466B 公開（公告）日 2018-10-30
申請公布號 CN107012466B 申請公布日 2018-10-30
分類號 C23F1/46;C25C1/12;C23F1/08;C25C7/00 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃天生 申請（專利權(quán)）人 豐順佳豐電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州勝沃園專利代理有限公司 代理人 張帥
地址 514300 廣東省梅州市豐順縣經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種酸性蝕刻液再生循環(huán)方法，包括：酸性蝕刻液的收集、酸性蝕刻液的過濾調(diào)配、超聲波輔助電解、銅片分離和陽極液的循環(huán)使用等步驟，本酸性蝕刻液再生循環(huán)方法采用超聲波催化電解并且通過精確調(diào)配控制酸性蝕刻電解液的濃度、電解電流密度和電解溫度的配合，可以將酸性刻蝕液中的銅離子轉(zhuǎn)化為純度高達(dá)99％的銅片，并且大幅提高銅離子的析出速度，提高生產(chǎn)效率，同時(shí)也降低了生產(chǎn)能耗。本發(fā)明還提供了一種與酸性蝕刻液再生循環(huán)方法相匹配的酸性蝕刻液再生循環(huán)系統(tǒng)，采用超聲波技術(shù)與離子膜技術(shù)相結(jié)合，不僅可以增強(qiáng)銅離子析出速度，而且可以進(jìn)一步的提高銅離子析出的純度，可以得到純度99.8％以上的高純度銅片。