寬譜段高分辨中階梯光柵單色器的針孔裝調(diào)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110382973.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113109949A 公開（公告）日 2021-07-13
申請公布號 CN113109949A 申請公布日 2021-07-13
分類號 G02B27/62;G02B7/00 分類 光學(xué);
發(fā)明人 朱繼偉;馬婷婷;孫慈;彭勇 申請（專利權(quán)）人 長春長光格瑞光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 吉林省長春市新時代專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 劉云朋
地址 130000 吉林省長春市北湖科技開發(fā)區(qū)明溪路1759號吉林省光電子產(chǎn)業(yè)孵化器有限公司D315-D323
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種寬譜段高分辨中階梯光柵單色器的針孔裝調(diào)方法，包括步驟S1：準(zhǔn)備待裝調(diào)的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)零件；步驟S2：將針孔座安裝到外殼上，然后在針孔座上安裝針孔，緊接著安裝針孔壓圈；步驟S3：再安裝針孔座壓圈，通過激光器射出的光束打到平面反射鏡表面，讓光斑經(jīng)平面反射鏡反射回激光器出光口；步驟S4：調(diào)整針孔位置，拆掉光纖針孔壓蓋，安裝密封圈，再安裝窗口玻璃，最后安裝窗口玻璃壓圈；步驟S5：連接元素?zé)?，觀察元素?zé)糇V線的半高寬計(jì)算分辨率，當(dāng)分辨率達(dá)到0.01nm，即為安裝合格；本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：所需專業(yè)的輔助設(shè)備少，簡化裝調(diào)過程中較為繁瑣和判斷環(huán)節(jié)，對裝調(diào)者經(jīng)驗(yàn)以來較小，填補(bǔ)寬譜段高分辨中階梯光柵單色器針孔裝調(diào)方法的空白。