一種適用于大尺寸觸摸屏的導電膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010774388.6 申請日 -
公開（公告）號 CN111785411A 公開（公告）日 2020-10-16
申請公布號 CN111785411A 申請公布日 2020-10-16
分類號 H01B5/14(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄭琦林;鞏燕龍;廖曉芮;張紅;高峰;張浩;劉月豹 申請（專利權）人 安徽方興光電新材料科技有限公司
代理機構 昆明合眾智信知識產(chǎn)權事務所 代理人 劉靜怡
地址 233010安徽省蚌埠市高新區(qū)黃山大道北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種適用于大尺寸觸摸屏的導電膜，包括PET基材層，所述PET基材層上方依次設置有非氧化單晶硅層、氮化硅層、SiO2層和ITO層，所述PET基材層厚度設置為23um，所述非氧化單晶硅層厚度設置為0.9～1.2nm，所述氮化硅層厚度設置為15.9～17.5nm，所述SiO2層厚度設置為22.8～23.9nm，所述ITO層厚度設置為129～140nm。本發(fā)明在鍍膜前首先進行鈦靶轟擊，改變膜層表面微型面貌，增加膜層附著力，非氧化單晶硅的引入進一步活化了膜層，為后面濺射打下了堅實的基礎，防止膜層過厚導致鍍層脫落，科學控制氣體在腔室內(nèi)分布，膜層均勻化最優(yōu)，成品應用在86寸大尺寸觸摸屏上不會出現(xiàn)明顯可感的延遲現(xiàn)象。??