一種帶保護帽涂層的氮氧傳感器芯片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111017940.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113552201A 公開（公告）日 2021-10-26
申請公布號 CN113552201A 申請公布日 2021-10-26
分類號 G01N27/407（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 蔡豐勇 申請（專利權）人 浙江百岸科技有限公司
代理機構 北京中北知識產權代理有限公司 代理人 陳孝政
地址 325000浙江省溫州市瑞安市塘下鎮(zhèn)吉祥路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種帶保護帽涂層的氮氧傳感器芯片，包括氧化鋯芯片，所述氧化鋯芯片內設置有第一內電極、第二內電極、第三內電極、第四內電極和加熱電極，所述氧化鋯芯片外表面局部位置設置有置物凹槽，所述置物凹槽內設置有外電極，所述氧化鋯芯片的加熱區(qū)包覆有保護帽，所述保護帽包括第一保護涂層和第二保護涂層，所述第一保護涂層包覆住第二保護涂層，所述第一保護涂層和第二保護涂層均為多孔結構。上述技術方案，結構設計合理、水蒸氣揮發(fā)效果好、工作可靠、使用壽命長且實用性好。