一種帶上料器真空氣相沉積爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010044041.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113124683A 公開（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113124683A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類號(hào) F27B17/00（2006.01）I;F27D3/00（2006.01）I;F27D7/06（2006.01）I;F27D9/00（2006.01）I;F27D11/10（2006.01）I;F27D19/00（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 言偉雄 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 株洲弗拉德科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 楊千尋;馮振寧
地址 412000湖南省株洲市天元區(qū)黃河南路天臺(tái)科技園科瑞路12號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出了一種帶上料器真空氣相沉積爐，所述真空氣相沉積爐包括加熱爐體、爐體內(nèi)設(shè)有螺旋式上料器，爐身還設(shè)有上電極和下電極。所述上電極和下電極分別與射頻電源的兩個(gè)輸出電極相連或/和直流電源的兩個(gè)輸出電極相連。各部分受控的氣壓、氣氛、電場、磁場、加熱方式組合使用實(shí)現(xiàn)對(duì)粉體材料的真空氣相沉積工藝。具有效率高，反應(yīng)快速的優(yōu)點(diǎn)。