場發(fā)射電子源針尖的制備裝置及其方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111404285.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114141594A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114141594A 申請公布日 2022-03-04
分類號 H01J9/02（2006.01）I;C25F3/02（2006.01）I;C25F7/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 魏志猛;李萬松;梁晶;邵倩倩;鄒文兵;李凌瞳;白生偉;唐愛權(quán);呂紹林 申請（專利權(quán)）人 蘇州博眾儀器科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 王風(fēng)茹
地址 215200江蘇省蘇州市吳江經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)湖心西路666號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種場發(fā)射電子源針尖的制備裝置及其方法，場發(fā)射電子源針尖的制備裝置包括控制模塊、驅(qū)動模塊、電解池、通電模塊；通電模塊包括電源、與電源連接的第一電極和第二電極，第二電極置于電解池的電解液中，第一電極與待腐蝕材料電連接；待腐蝕材料浸入電解液中設(shè)定深度后，控制模塊控制電源向第一電極和第二電極之間施加第一電壓，以及用于在采集的電流信號小于第一設(shè)定電流值且大于第二設(shè)定電流值時，控制電源向第一電極和所述第二電極之間施加第二電壓，第二電壓小于第一電壓?？刂颇K根據(jù)電流信號控制向第一電極和第二電極間施加的電壓減小，使得制備出的電子源針尖的曲率半徑更小、形狀一致，還可減小放電現(xiàn)象，提高制備出的電子源針尖的精度。