一種聚光鏡裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220213669.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216773173U 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN216773173U 申請公布日 2022-06-17
分類號 H01J37/21（2006.01）I;H01J37/26（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邵倩倩;周瑞;梁晶;魏志猛;鄔大龍;李凌瞳;白生偉;尹克領(lǐng) 申請（專利權(quán)）人 蘇州博眾儀器科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 -
地址 215200江蘇省蘇州市吳江經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)湖心西路666號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種聚光鏡裝置，屬于聚光鏡技術(shù)領(lǐng)域。本實用新型的聚光鏡裝置，包括殼體及設(shè)于殼體內(nèi)且沿第一方向依次設(shè)置的第一聚光鏡模塊和第二聚光鏡模塊；第一聚光鏡模塊包括第一鉬片和第一調(diào)節(jié)單元，第一鉬片設(shè)有多個孔徑不同的第一光闌孔；第一調(diào)節(jié)單元設(shè)于殼體，第一鉬片設(shè)于第一調(diào)節(jié)單元，第一調(diào)節(jié)單元能使第一鉬片沿第二方向移動，第二方向垂直于第一方向；第二聚光鏡模塊包括第二鉬片和第二調(diào)節(jié)單元，第二鉬片設(shè)有多個孔徑不同的第二光闌孔；第二調(diào)節(jié)單元設(shè)于殼體，第二鉬片設(shè)于第二調(diào)節(jié)單元，第二調(diào)節(jié)單元能使第二鉬片沿第二方向移動。通過調(diào)節(jié)兩個鉬片的位置，可使電子束通過不同孔徑的光闌孔，進而能擴大電子束的束斑可調(diào)范圍。