一種硅片料清洗機反應(yīng)容器
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921769396.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210966115U | 公開（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申請公布號 | CN210966115U | 申請公布日 | 2020-07-10 |
| 分類號 | B08B3/08(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 李威 | 申請（專利權(quán)）人 | 浙江矽盛電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 浙江翔隆專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 浙江矽盛電子有限公司 |
| 地址 | 321071浙江省衢州市開化縣工業(yè)園區(qū)銀輝路８號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種硅片料清洗機反應(yīng)容器，包括滾筒、上料管道和支架，所述滾筒外壁左右位置開設(shè)有滑槽，且滾筒上中間位置固定有鋸齒，所述上料管道的下端固定有支撐桿，所述上料管道的上端從左到右依次固定有第一計量機構(gòu)和第二計量機構(gòu)，所述支架的上端前后對稱位置分別固定有轉(zhuǎn)動機構(gòu)和傳動機構(gòu)，且轉(zhuǎn)動機構(gòu)包括第一滑輪、第一軸承座、第一齒輪、轉(zhuǎn)動軸和伺服電機，所述支架的前端固定有PLC控制器，且PLC控制器的輸出端與伺服電機的輸入端電性連接。本實用新型通過設(shè)置滾筒、上料管道、第一計量機構(gòu)、第二計量機構(gòu)、轉(zhuǎn)動機構(gòu)和傳動機構(gòu)，解決了清洗機反應(yīng)容器清洗效果不佳和沒有計量功能配置清洗液時耗時耗力的問題。?? |
