一種用于噴砂設(shè)備的TFT平面濺射靶材保護(hù)結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122591764.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215968292U | 公開（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215968292U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-08 |
| 分類號(hào) | B24C9/00（2006.01）I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 孔偉華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇東玖光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京佰騰智信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 黃杭飛 |
| 地址 | 221200江蘇省徐州市睢寧縣雙溝鎮(zhèn)空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)臨空大道與安瀾大道交叉口 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及靶材噴砂處理技術(shù)領(lǐng)域，提出了一種用于噴砂設(shè)備的TFT平面濺射靶材保護(hù)結(jié)構(gòu)，一種用于噴砂設(shè)備的TFT平面濺射靶材保護(hù)結(jié)構(gòu)，包括工作臺(tái)、靶材和防護(hù)組件，靶材放置在工作臺(tái)的上端面，升降臺(tái)包括升降桿和第一連接臺(tái)，第一連接臺(tái)固定安裝在升降桿的下端面，第一連接臺(tái)的下端轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有連接桿，連接桿的下端固定安裝有第二連接臺(tái)，防護(hù)板通過連接組件與第二連接臺(tái)卡合連接。通過上述技術(shù)方案，解決了現(xiàn)有技術(shù)在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)傳統(tǒng)的保護(hù)裝置就有可能會(huì)將靶材濺射面刮花，這樣就會(huì)造成靶材不合格，并且由于傳統(tǒng)的保護(hù)裝置需要上下雙向夾持，所以在調(diào)節(jié)高度時(shí)需要通過兩個(gè)升降系統(tǒng)進(jìn)行控制，增加了保護(hù)裝置整體的成本的問題。 |
