有機(jī)鎂化合物及電子器件
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111036678.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113461717A | 公開（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113461717A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-01 |
| 分類號(hào) | C07F3/02（2006.01）I;H01L33/32（2010.01）I | 分類 | 有機(jī)化學(xué)〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 楊敏;徐耀中;范光華;李芳芳;劉子偉;徐濤;沈波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇南大光電材料股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州新知行知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 陳勐哲 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)勝浦平勝路67號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N有機(jī)鎂化合物，其具有如下結(jié)構(gòu)式（1）表示的結(jié)構(gòu)：結(jié)構(gòu)式（1）該有機(jī)鎂化合物在工作狀態(tài)下是液態(tài)，具有穩(wěn)定的高飽和蒸氣壓，非常適合做半導(dǎo)體摻雜的鎂源摻雜劑；在鎂源工藝中鎂組分分布均勻，提高了外延均勻性和生產(chǎn)工藝穩(wěn)定性，適合大尺寸襯底外延；另一方面，在鎂源使用末期蒸氣壓也非常穩(wěn)定，從而提高了使用效率和生產(chǎn)鎵動(dòng)率，降低生產(chǎn)成本，適合大規(guī)模量產(chǎn)。 |
