含氧高純?nèi)谆X的制備裝置及其方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110794516.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113368797A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113368797A 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) B01J19/14（2006.01）I;B01J4/02（2006.01）I;B01J3/03（2006.01）I;B01D53/18（2006.01）I;C07F5/06（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 朱熠;成曉華;常華;吉敏坤;張溧;李剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇南大光電材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇圣典律師事務(wù)所 代理人 王玉國(guó)
地址 215021江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)平勝路67號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及含氧高純?nèi)谆X的制備裝置及方法，含氧惰性氣體儲(chǔ)罐通過(guò)管路連接加氧反應(yīng)容器，加氧反應(yīng)容器、高純?nèi)谆X產(chǎn)品儲(chǔ)罐和含氧三甲基鋁儲(chǔ)罐分別通過(guò)支管路分別連接氮?dú)夤苈?、尾氣管路、真空管路以及物料管路，各支管路上均安裝有閥門；真空泵通過(guò)管路連接尾氣吸收罐，尾氣吸收罐通過(guò)支管路分別連接尾氣管路、真空管路以及物料管路，各支管路上均安裝有閥門。通過(guò)氮?dú)鈱⒏呒內(nèi)谆X產(chǎn)品儲(chǔ)罐中的高純?nèi)谆X經(jīng)過(guò)物料管路壓入加氧反應(yīng)容器中，向加氧反應(yīng)容器通入含氧惰性氣體，通過(guò)控制接觸反應(yīng)時(shí)長(zhǎng)、氣體流速進(jìn)行加氧反應(yīng)，獲得穩(wěn)定的含氧高純?nèi)谆X，純度達(dá)99.9999％，氧含量5～1000ppm；工藝反應(yīng)簡(jiǎn)單平穩(wěn)，易于控制。