一種單晶爐泄漏引流裝置及單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011124772.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114381798A 公開（公告）日 2022-04-22
申請公布號 CN114381798A 申請公布日 2022-04-22
分類號 C30B15/10（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 楊文武;沈福哲 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉材料技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許靜;張博
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號1-3-029室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種單晶爐泄漏引流裝置及單晶爐，該單晶爐泄漏引流裝置包括：設(shè)置于坩堝的底部的防漏盤，包括盤底面和圍繞盤底面四周邊緣設(shè)置的防漏邊沿，盤底面和防漏邊沿圍設(shè)形成容置腔；連接在防漏盤的中部的筒狀管，筒狀管包括中空的內(nèi)管和外管，內(nèi)管和外管之間形成空腔，筒狀管包括相對的第一端和第二端，第一端連接于盤底面的中部，空腔在第一端開口，形成與防漏盤的容置腔相通的進液口，筒狀管上設(shè)有排液口；軸承套，坩堝軸穿設(shè)于內(nèi)管內(nèi)，軸承套連接在內(nèi)管與坩堝軸之間。本發(fā)明提供的單晶爐泄漏引流裝置及單晶爐，能夠避免硅溶液侵蝕破壞其他熱場部件，提高設(shè)備應(yīng)對溢流風險的能力，減少安全隱患甚至事故的發(fā)生，減少損失，提高設(shè)備的稼動率。