一種拋光液供給裝置、拋光頭及拋光設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011326232.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114536209A 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN114536209A 申請公布日 2022-05-27
分類號 B24B37/07（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 白宗權 申請（專利權）人 西安奕斯偉材料技術有限公司
代理機構 西安維英格知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 710065陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種拋光液供給裝置、拋光頭及拋光設備；所述裝置包括：圍繞拋光頭的頭部主體布設于所述拋光頭的外殼下部的多個拋光液供給口、為每個所述拋光液供給口提供拋光液輸送通道的第一拋光液管道、以及向所述第一拋光液管道提供拋光液的拋光液供給罐；其中，每個所述拋光液供給口均能朝向拋光墊滴加拋光液；每條所述第一拋光液管道根據(jù)所述外殼的形狀沿豎直方向布設。