一種將拋光墊的初始狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)橛H水性的方法和裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011256546.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112372509B 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN112372509B 申請公布日 2022-02-25
分類號 B24B53/017（2012.01）I;B24B37/20（2012.01）I;B24B37/30（2012.01）I;B24B37/10（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 趙晟佑 申請（專利權(quán)）人 西安奕斯偉材料技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 西安維英格知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李斌棟;沈寒酉
地址 710065陜西省西安市高新區(qū)西灃南路1888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種將拋光墊的初始狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)橛H水性的方法和裝置；該方法可以包括：將新拋光墊粘貼至拋光機臺的下定盤后，將符合設(shè)定硬度以及粗糙度材質(zhì)制成的轉(zhuǎn)換用晶圓置于拋光頭的組裝式吸附墊中；利用所述新拋光墊對所述轉(zhuǎn)換用晶圓進行拋光作業(yè)；當所述新拋光墊對設(shè)定數(shù)目的轉(zhuǎn)換用晶圓完成拋光作業(yè)后，所述新拋光墊的表面狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)橛H水性狀態(tài)。