硅片處理過程中產(chǎn)生的廢硅料的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210189738.8 申請日 -
公開（公告）號 CN102694074A 公開（公告）日 2012-09-26
申請公布號 CN102694074A 申請公布日 2012-09-26
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馮文宏;劉俊飛 申請（專利權(quán)）人 保定晶創(chuàng)硅材料制造有限公司
代理機構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 代理人 吳貴明;余剛
地址 071051 河北省保定市朝陽北大街3399號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片處理過程中產(chǎn)生的廢硅料的清洗方法。該方法包括以下步驟：1）將待清洗的廢硅料放入混合酸液中浸泡，然后用純水漂洗；2）將經(jīng)過混合酸液浸泡的廢硅料放入堿液中浸泡，然后用純水漂洗；3）將廢硅料放入鹽酸溶液中浸泡，然后用純水漂洗、烘干，其中，混合酸液是電池制備過程產(chǎn)生的廢棄酸液。應用本發(fā)明的技術(shù)方案，既能有效地徹底清除廢硅料表面及嵌入較深的雜質(zhì)，又不會造成硅料損失，由于大多的雜質(zhì)是通過酸蝕或堿蝕去除的，不需要人工打磨，所以工作效率提高。另外，混合酸液是電池制備過程中廢棄的酸液，不僅節(jié)約了成本，還為廢水處理、減排降耗做出了貢獻。