一種薄膜式尾氣氧傳感器芯片制備用烘干疊合裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210149508.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114608276A 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號 CN114608276A 申請公布日 2022-06-10
分類號 F26B9/06（2006.01）I;F26B23/10（2006.01）I;F26B25/02（2006.01）I;B32B38/16（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 徐坤 申請（專利權）人 江蘇同濟汽車配件有限公司
代理機構 鹽城匯聰知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 224000江蘇省鹽城市經濟技術開發(fā)區(qū)烏江路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種薄膜式尾氣氧傳感器芯片制備用烘干疊合裝置，包括基座，所述基座的頂面固定連接有儲水箱，且儲水箱的一側外表面通過法蘭盤固定連通有進水管道和出水管道，所述儲水箱的頂面固定連接有烘干機構，所述儲水箱的一側內表面固定連接有加熱器，所述加熱器的底面固定連接有支撐座，且支撐座的底面與基座的頂面固定連接，所述基座的頂面固定連接有控制系統，所述控制系統的一側外表面滑動連接有支撐架，且支撐架的一側外表面與基座的頂面固定連接，所述基座的頂面固定連接有支撐塊，且支撐塊與烘干機構相適配，使得氧化鋯基片在疊合過程中的烘干和疊合工序同時自動化進行，使得提高工作的效率。