一種制備鐵電薄膜的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420005653.4 申請日 -
公開（公告）號 CN203674268U 公開（公告）日 2014-06-25
申請公布號 CN203674268U 申請公布日 2014-06-25
分類號 H01L41/31(2013.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡銅祥;楊曉偉;劉岸春 申請（專利權(quán)）人 江蘇悅達墨特瑞新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 代理人 江蘇悅達墨特瑞新材料科技有限公司;上海悅達墨特瑞新材料科技有限公司
地址 224007 江蘇省鹽城市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東環(huán)路69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種制備納米結(jié)構(gòu)材料的裝置，特別是一種制備鐵電薄膜的裝置。包括杯型玻璃瓶、單晶硅片、濾紙和透明塑料薄膜，杯型玻璃瓶的底部墊有濾紙，杯型玻璃瓶的開口處用透明塑料薄膜密封，透明塑料薄膜上設(shè)有排氣孔；單晶硅片置放在杯型玻璃瓶中的濾紙上。本實用新型不需要價格昂貴薄膜沉積裝置和精細(xì)的微加工設(shè)備，通過合適濃度納米晶分散液的配置和有機溶劑在納米晶分散液鋪展過程中揮發(fā)速度的控制，實現(xiàn)鐵電納米晶在Si沉底平面上直接自組裝形成薄膜。本實用新型對超高密度鐵電存儲器平面納米有序陣列結(jié)構(gòu)的制備具有重要應(yīng)用價值。