一種可翻轉(zhuǎn)產(chǎn)品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020408616.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211734470U | 公開（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申請公布號 | CN211734470U | 申請公布日 | 2020-10-23 |
| 分類號 | C23C16/458(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 盛鋒鋒;周李偉;丁柳寧;陳嘉琪;劉超 | 申請（專利權(quán)）人 | 浙江六方碳素科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京華旭智信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 李麗 |
| 地址 | 311800浙江省紹興市諸暨市陶朱街道展誠大道78號6號樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型提供一種可翻轉(zhuǎn)產(chǎn)品的臥式熱壁CVD涂層鍍膜機用石墨夾具，包括：第一圓環(huán)(1)，第二圓環(huán)(2)，翻轉(zhuǎn)桿(3)，旋轉(zhuǎn)桿(6)，固定螺絲(7)，第一旋轉(zhuǎn)電機(8)，步進電機(9)，第二旋轉(zhuǎn)電機(10)，升降電機(11)；樣品(12)為圓盤形，固定在石墨夾具上，第二圓環(huán)置于第一圓環(huán)內(nèi)部并且相互垂直，第一圓環(huán)和第二圓環(huán)部分固定連接在一起，翻轉(zhuǎn)桿與第一圓環(huán)和第二圓環(huán)上的圓形通孔適配連接，旋轉(zhuǎn)桿與第一圓環(huán)適配連接，第一旋轉(zhuǎn)電機與步進電機均與翻轉(zhuǎn)桿連接，第二旋轉(zhuǎn)電機和升降電機與旋轉(zhuǎn)桿連接，升降電機控制旋轉(zhuǎn)桿的上下伸縮，實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)桿與夾具的連接和斷開，第二旋轉(zhuǎn)電機帶動旋轉(zhuǎn)桿自轉(zhuǎn)。?? |
