一種金屬表面碳化硅涂層的低溫制備裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110992466.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113699518A 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN113699518A 申請公布日 2021-11-26
分類號 C23C24/08（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 丁柳寧;周李偉;陳凱 申請（專利權(quán)）人 浙江六方碳素科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 311800浙江省紹興市諸暨市陶朱街道展誠大道78號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種金屬表面碳化硅涂層的低溫制備裝置，其特征在于：包括中空的反應(yīng)室、上封塊、下封塊，在反應(yīng)室的外側(cè)壁上纏繞有感應(yīng)線圈，在上封塊上設(shè)置有輸氣口和排氣口，在反應(yīng)室的外部設(shè)置有涂料混合箱，涂料混合箱內(nèi)設(shè)置有涂料輸送泵，在涂料混合箱和下封塊之間設(shè)置有與反應(yīng)室連通的輸料管和排料管，在涂料混合箱和上封塊之間設(shè)置有與反應(yīng)室連通的回料管，輸料管上設(shè)置有單向閥，在排料管上設(shè)置有兩位兩通電磁閥，回料管上連通有壓力表，回料管上設(shè)置有壓力可調(diào)的卸壓閥。本發(fā)明提供了一種金屬表面碳化硅涂層的低溫制備裝置，使得在金屬表面上形成超厚密集的碳化硅涂層，同時(shí)，保證工件受熱均勻性，降低制備所需的溫度。