一種相變溫度測試系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910273102.X 申請日 -
公開（公告）號 CN101726506B 公開（公告）日 2016-03-02
申請公布號 CN101726506B 申請公布日 2016-03-02
分類號 G01N25/02(2006.01)I;G01N25/12(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 繆向水;童浩;程曉敏 申請（專利權）人 武漢玖恒博文財富管理有限公司
代理機構 華中科技大學專利中心 代理人 曹葆青
地址 湖北省武漢市東湖新技術開發(fā)區(qū)高新大道999號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種相變溫度測試系統(tǒng)，其結構為：加熱爐的蓋板上開有通光孔，加熱爐內設有爐腔，樣品架位于爐腔內，并位于通光孔的正下方，在通光孔的上方放置有激光器和光電探測器，光電探測器位于待測樣品對激光束的反射光路上。本發(fā)明可以增設信號放大采集電路、溫度控制傳感電路和數(shù)據(jù)處理器。通過該系統(tǒng)測試靈敏度較高，能測定膜厚低至1nm的薄膜的相變溫度；且可直接測量薄膜樣品的相變溫度，對樣品無損傷；通過不同升溫速率下的變溫測量還可獲得更多的材料熱力學參數(shù)。操作簡單，成本低廉，測試可靠度較高。