一種相變溫度測(cè)試系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910273102.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101726506B 公開(kāi)（公告）日 2016-03-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN101726506B 申請(qǐng)公布日 2016-03-02
分類(lèi)號(hào) G01N25/02(2006.01)I;G01N25/12(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 繆向水;童浩;程曉敏 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 武漢玖恒博文財(cái)富管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) 華中科技大學(xué)專(zhuān)利中心 代理人 曹葆青
地址 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)高新大道999號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種相變溫度測(cè)試系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)為：加熱爐的蓋板上開(kāi)有通光孔，加熱爐內(nèi)設(shè)有爐腔，樣品架位于爐腔內(nèi)，并位于通光孔的正下方，在通光孔的上方放置有激光器和光電探測(cè)器，光電探測(cè)器位于待測(cè)樣品對(duì)激光束的反射光路上。本發(fā)明可以增設(shè)信號(hào)放大采集電路、溫度控制傳感電路和數(shù)據(jù)處理器。通過(guò)該系統(tǒng)測(cè)試靈敏度較高，能測(cè)定膜厚低至1nm的薄膜的相變溫度；且可直接測(cè)量薄膜樣品的相變溫度，對(duì)樣品無(wú)損傷；通過(guò)不同升溫速率下的變溫測(cè)量還可獲得更多的材料熱力學(xué)參數(shù)。操作簡(jiǎn)單，成本低廉，測(cè)試可靠度較高。