一種單晶爐真空管道內(nèi)壁自動(dòng)清理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120186935.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214211602U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN214211602U 申請(qǐng)公布日 2021-09-17
分類(lèi)號(hào) B08B9/047（2006.01）I 分類(lèi) 清潔;
發(fā)明人 朱偉忠;王昕婷;周杰;沈浩鋒;周林偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 天通吉成機(jī)器技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 任美玲
地址 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)雙聯(lián)路129號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶爐真空管道內(nèi)壁自動(dòng)清理裝置，包括固定于有密封圈的真空管道（3）內(nèi)部的驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第一端與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接的伸縮機(jī)構(gòu)（2）、與所述伸縮機(jī)構(gòu)（2）的第二端連接的清理刷（1），所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)能夠驅(qū)動(dòng)所述伸縮機(jī)構(gòu)（2）旋轉(zhuǎn)，所述伸縮機(jī)構(gòu)（2）的長(zhǎng)度能夠沿真空管道（3）軸線(xiàn)方向伸縮，所述清理刷（1）旋轉(zhuǎn)時(shí)能夠與真空管道（3）的內(nèi)壁360°接觸。應(yīng)用本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的技術(shù)方案，通過(guò)單晶爐真空管道內(nèi)壁自動(dòng)清理裝置將黏著在真空管道內(nèi)壁的雜質(zhì)清理下來(lái)，并不損壞真空管道內(nèi)壁，保證真空狀態(tài)，提高硅棒的質(zhì)量，不影響真空管道抽真空。