一種用于單晶爐鎢絲繩自動對中的調整裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202120187464.3 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN214244665U | 公開(公告)日 | 2021-09-21 |
申請公布號 | CN214244665U | 申請公布日 | 2021-09-21 |
分類號 | C30B15/20(2006.01)I;C30B15/30(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 朱偉忠;王昕婷;周杰;沈浩鋒;周林偉 | 申請(專利權)人 | 天通吉成機器技術有限公司 |
代理機構 | 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 | 代理人 | 任美玲 |
地址 | 314400浙江省嘉興市海寧市海寧經(jīng)濟開發(fā)區(qū)雙聯(lián)路129號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開了一種用于單晶爐鎢絲繩自動對中的調整裝置,包括至少兩組具有設定角度的調整機構(3),每組所述調整機構(3)包括固定于單晶爐基架上的安裝座、固定于所述安裝座上的驅動裝置,以及第一端與所述驅動裝置的輸出軸連接的絲桿,所述絲桿的第二端與單晶爐圓盤(2)的側壁固定連接,鎢絲繩(1)從所述圓盤(2)的中心孔穿過,所述驅動裝置能夠驅動所述絲桿沿其軸線方向移動。應用本實用新型實施例所提供的技術方案,鎢絲繩的位置通過調整裝置來調整,以此使鎢絲繩與轉動中心保持較高的同心度,以保證晶體生長過程的穩(wěn)定性及晶體質量;通過調整裝置控制,省時省力,效率較高,對中精準度較高。 |
