一種用于MiniLED芯片去除修復(fù)的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210195042.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114551305A 公開（公告）日 2022-05-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN114551305A 申請(qǐng)公布日 2022-05-27
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L25/075（2006.01）I;B23K26/00（2014.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 白丹妮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海東輝半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 519000廣東省珠海市高新區(qū)唐家灣鎮(zhèn)金園一路6號(hào)5棟1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于Mini LED芯片去除修復(fù)的裝置，包括激光器，激光器用于發(fā)射激光；以及光束調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，光束調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)位于激光器發(fā)射激光的一側(cè)，光束調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括用于將激光器發(fā)射的激光整形為矩形光斑或線形光斑的光束整形結(jié)構(gòu)，以及用于帶動(dòng)光束整形結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，使矩形光斑或線形光斑形成特定角度的角度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)；以及管鏡，管鏡位于光束調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)遠(yuǎn)離激光器的一端，用于將激光聚焦；以及物鏡，物鏡位于管鏡遠(yuǎn)離光束調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的一端，用于將激光成像。本發(fā)明具有加工時(shí)間極短,加工效率極高,去除工藝簡(jiǎn)單,修復(fù)率高的效果。