基于人工智能的晶體生長(zhǎng)分析方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010502352.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113130017A 公開(kāi)（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113130017A 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類號(hào) G16C20/70（2019.01）I 分類 物理
發(fā)明人 程章勇;張?jiān)苽?陳穎超;楊麗雯;何麗娟;李百泉;靳麗婕;李天運(yùn);韋玉平;王麗君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京世紀(jì)金光半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)通惠干渠路17號(hào)院
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了基于人工智能的晶體生長(zhǎng)分析方法及系統(tǒng)。具體涉及到晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域，尤其是碳化硅晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域。該發(fā)明主要分為試驗(yàn)、仿真、人工智能三部分。試驗(yàn)是數(shù)據(jù)最可靠的來(lái)源，也是驗(yàn)證人工智能分析、仿真分析的有效方法；仿真是對(duì)試驗(yàn)數(shù)據(jù)的補(bǔ)充，也是分析晶體生長(zhǎng)的重要輔助方法；人工智能主要用于提取參數(shù)中的特征數(shù)據(jù)并分析、評(píng)估，界定晶體生長(zhǎng)范圍的方法。這樣有利于構(gòu)建一個(gè)分析、評(píng)價(jià)、評(píng)估、驗(yàn)證晶體生長(zhǎng)狀況，也可以界定晶體生長(zhǎng)邊界條件。