壓電式MEMS揚聲器基本特性的數(shù)值仿真分析方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910587590.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110442907A 公開（公告）日 2019-11-12
申請公布號 CN110442907A 申請公布日 2019-11-12
分類號 G06F17/50（2006.01）I; H04R29/00（2006.01）I; H04R19/00（2006.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 李陸化; 徐楚林; 溫周斌; 陸曉; 岳磊; 計敏君 申請（專利權(quán)）人 浙江中科電聲研發(fā)中心
代理機構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 沈志良
地址 314100 浙江省嘉興市嘉善縣魏塘鎮(zhèn)晉陽東路568號科創(chuàng)中心1號樓1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了壓電式MEMS揚聲器基本特性的數(shù)值仿真分析方法，該方法包括以下幾個步驟：1)建立MEMS揚聲器仿真幾何模型；2)設(shè)置物理場和邊界條件，它包括在“固體力學(xué)”、“電場”、“壓力聲學(xué)，頻域”和“熱粘性聲學(xué)，頻域”物理場中分別設(shè)置材料模型、壓電本構(gòu)關(guān)系、阻尼、約束條件、阻抗邊界和電壓載荷等；3)定義材料參數(shù)；4)設(shè)置網(wǎng)格類型和尺寸，并劃分網(wǎng)格。5)求解計算：分別采用“頻域”和“特征頻率”研究對該有限元模型進(jìn)行求解；6)結(jié)果后處理：通過后處理得到該壓電式MEMS揚聲器的聲壓級頻響曲線、聲壓和聲壓級分布圖、電容值隨頻率的變化關(guān)系、振動部件上應(yīng)力/應(yīng)變/位移/速度/加速度的大小和分布圖，以及該MEMS揚聲器的共振頻率和振型。